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芯片实验室整体解决方案
业内独有TZTEK10:1三倍率镜头。
最高测量精度0.7μm,最大视野82×55mm。
大视野高景深,全景范围清晰成像。
精准闪测,可同时识别多个工件并进行检测,适合批量检测需求。
自动图像配准功能,无需治具,可通过工件匹配
自动调取任务,无需人工查找。
可加装光谱测头、同轴光、辅助环形光源等。
配置了丰富的外部接口,可以定制集成到生产线,实现快速在线检测。